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            首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > 氫氣發(fā)生器【半導體,氣相色譜專(zhuān)用】 > 英國氫氣發(fā)生器 > 半導體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器
            產(chǎn)品展示 / Products

            產(chǎn)品名稱(chēng):半導體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器

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            更新時(shí)間:2024-06-07

            產(chǎn)品簡(jiǎn)介:在快速發(fā)展的半導體行業(yè)中,氫氣的應用日益廣泛,其純度和壓力的穩定性對制造過(guò)程的影響至關(guān)重要。為了滿(mǎn)足這一需求,我們推出了一款采用SPE固態(tài)電解質(zhì)技術(shù)的半導體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器。這款設備不僅能夠提供高純度、穩定壓力的氫氣,還具有多項結構優(yōu)勢和應用功能,是半導體制造過(guò)程中重要的設備。

            詳細資料:

            在快速發(fā)展的半導體行業(yè)中,氫氣的應用日益廣泛,其純度和壓力的穩定性對制造過(guò)程的影響至關(guān)重要。為了滿(mǎn)足這一需求,我們推出了一款采用SPE固態(tài)電解質(zhì)技術(shù)的半導體專(zhuān)用氫氣發(fā)生器。這款設備不僅能夠提供高純度、穩定壓力的氫氣,還具有多項結構優(yōu)勢和應用功能,是半導體制造過(guò)程中重要的設備。

            【產(chǎn)品特點(diǎn)】

            1. 創(chuàng )新技術(shù)應用:采用英國Peculiar的離子膜技術(shù)和分子篩耐用干燥劑,確保產(chǎn)生的氫氣純度高達99.9999%,為半導體制造提供高品質(zhì)的氣體環(huán)境。

            2. 高效純化系統:通過(guò)先進(jìn)的氫/水分離技術(shù)和除濕處理,有效分離并去除氫氣中的水分,保證輸出氫氣的純凈度。

            3. 自動(dòng)水位控制與補水功能:設備具備自動(dòng)水位監控和補水系統,當水量低于設定值時(shí)自動(dòng)停機并補充水源,確保設備運行安全,延長(cháng)使用壽命。

            4. 微電腦控制:集成微電腦控制系統,實(shí)時(shí)監測和調整壓力與流量,保持氫氣輸出的穩定性和可靠性。

            5. 環(huán)保與安全設計:采用無(wú)堿液電解技術(shù),直接電解純水,減少環(huán)境污染;同時(shí),所有材料選擇均符合高標準環(huán)保要求,確保操作過(guò)程的安全。

             

            【應用領(lǐng)域】

            - 清洗與退火:氫氣作為清洗氣體,有效去除表面污染物和氧化物,提供清潔的表面,并用于退火過(guò)程促進(jìn)晶體再結晶。

            - 賦活處理:通過(guò)將水合氧化物轉化為電氧化物,提高雜質(zhì)離子濃度,改善半導體器件性能和穩定性。

            - 硅取向和外延生長(cháng)調控:通過(guò)精確控制氫氣的流量和溫度,實(shí)現硅晶片特定方向的優(yōu)先生長(cháng),獲得所需的硅材料取向。

            - 清除氧污染:在特殊工藝中利用氫氣清除氧氣污染,避免生成影響器件性能的氧化物。

             


             

             


             






             

             


             

             

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